多晶硅是生产太阳能电池板的重要原料之一，多晶硅的原材料是：三氯氢硅和氢气。

1、将两者按照一定的比例，计入还原炉内，进行热分解和还原反应。

2、产生硅沉积在炉内硅芯上，逐渐长大。

3、利用石墨加热器给炉体加热，首先使石墨部件、隔热层、硅原料等表面吸附的湿气蒸发，然后缓慢加温，使石英坩埚的温度达到1200-1300℃左右。

4、硅锭在炉内退火后，关闭加热功率，提升隔热装置或者完全下降硅锭，炉内通入大流量氩气，使硅锭温度逐渐降低至室温附近;同时，炉内气压逐渐上升，直至达到大气压即可。

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